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가스는 입구 조인트에서 입력되며, 유량 센서와 바이 패스를 통해 흐르도록 분할됩니다. 센서는 가스의 질량 유량을 측정하고 유량 제어 밸브는 측정 된 유량과 외부 유량 설정 신호에서받은 유량의 차이가 0이되도록 유량을 수정합니다.
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전화번호 : 032-624-3800
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가스 공급 – 질량유량계 MFC(Mass Flow Controller) – 개날연..
말 그대로 ‘질량유량계’라고 불리우는 MFC 는 스퍼터장치에서는 필수적인 구성요소 입니다. 최소한 1개는 기본이고, 어떤 기체를 사용하느냐, 또한 반응성 …
Source: marriott.tistory.com
Date Published: 6/1/2022
View: 9309
이게 무슨차이야? 질량 유량계 – MFC와 MFM의 차이 – 인포라드
기체의 유량을 측정할 때 많이 사용되고 있는 질량 유량 측정기. 영어로는 Mass Flow Meter 라고 하고 줄여서 MFM, MFC 등으로도 불립니다. 다양한 단어로 불리다 보니 …
Source: www.inforad.co.kr
Date Published: 9/1/2021
View: 8952
질량 유량 측정제어기(MFC) 올바르게 사용하는 방법
질량 유량 측정 / 제어기(Mass Flow Meter / Controller)는 다양한 가스의 유량을 정확하고 신속하게 측정 / 제어 할 수 있는 장비 이며, 다양한 가스를 …
Source: m.blog.naver.com
Date Published: 6/16/2021
View: 5341
MASS FLOW CONTROLLER 란 ?
이러한 MFC(Mass Flow Controller)는 정확한 Gas 유량. 측정과 제어가 필요한 곳이면 어디서든지 사용할 수 있다. MFC의 개략도. Page 2. Korea Instruments T & S. 4.
Source: mcmflow.co.kr
Date Published: 2/27/2021
View: 5234
MFC • MFM | 엠케이프리시젼(주)
질량유량계측기(Mass Flow Meter). 기체의 유량을 계측하여 값을 측정할 수 있는 장비입니다. 질량유량제어기와 함께 다양한 분야에서 사용되고 있습니다.
Source: mkp.kr
Date Published: 5/9/2022
View: 3746
[스크랩] [Mass Flow Controller 원리] – Daum 블로그
MFC 의 기본원리는 기체가 Mass Flow Controller(이하 MFC) 로 들어가면 먼저 전동 밸브와 만나게 됩니다. 이 밸브는 높은 전압을 가하면 많이 열리고 …
Source: blog.daum.net
Date Published: 6/3/2022
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반도체 공정용 차압식 질량 유량 제어 장치의 개발 및 성능 평가
유량 제어 장치(mass flow controller, MFC)로 널리 사. 용되는 핵심 부분품이다. … 가스 질량 유량 제어 원리, 제어 장치의 구조, 장치의.
Source: www.koreascience.or.kr
Date Published: 10/27/2022
View: 614
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- Author: SEHWA HIGHTECH세화하이테크
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- Date Published: 2021. 6. 24.
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MFC (Mass Flow Controller): 질량유량제어기 란?
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가스크로마토그래피법을 이용하여 가스농도 및 불순물을 분석하기 위해서는 GC-inlet에 가스를 일정하게 흘려주는 MFC는 필수 장비이다.
MFC(Mass Flow Controller)란?
질량 유량 제어기 ( MFC는 ) 측정의 흐름을 제어하는데 사용하는 장치로서 액체 및 기체 질량 유량 컨트롤러는 특정 유량 범위에서 특정 유형의 액체 또는 가스를 제어하도록 설계 및 보정됩니다
질량 유량 컨트롤러는 사용 조건이나 가스 압력의 변화에 영향을받지 않고 전기 신호로 전송되는 설정 유량에 따라 가스의 유량을 자동으로 제어합니다. 유량은 크게 체적 유량과 질량 유량의 두 가지 유형으로 분류 할 수 있습니다. 체적 유량 측정은 주변 온도와 압력의 영향을받습니다. 실제 흐름을 확인하려면 압력 및 온도 조건이 압력 조건이어야하므로 훨씬 더 정확하고 안정적인 흐름 측정 및 제어를 제공합니다. 질량 유량 컨트롤러는 정확한 유량 제어가 필요하거나 자동화 된 생산 라인을 구축 할 때 필수 장비로 다양한 산업 분야에서 사용됩니다.
MFC의 구조 및 작동원리
이러한 질량 유량 컨트롤러에는 센서, 바이 패스, 유량 제어 밸브 및 특수 회로가 포함 된 유량 측정 섹션이 있습니다.
CPU는 회로의 일부이므로 다기능과 효율성이 모두 뛰어납니다.
가스는 입구 조인트에서 입력되며, 유량 센서와 바이 패스를 통해 흐르도록 분할됩니다. 센서는 가스의 질량 유량을 측정하고 유량 제어 밸브는 측정 된 유량과 외부 유량 설정 신호에서받은 유량의 차이가 0이되도록 유량을 수정합니다.
루프 회로가 내장되어있어 유입 가스의 공급 압력에 영향을 미칠 수있는 2차 압력 변화 나 주위 온도 변화가 있어도 순간적으로 유량이 보정되어 안정적인 유량 제어가 가능합니다.
MFC 구초 (출처: HORIBA semiconductor)
작동원리
입구에서 유입되는 가스는 먼저 분리되어 센서를 지나가거나 바이패스를 통과합니다.
센서에서 질량 유량은 온도의 비례 변화로 감지되고 브리지 회로에 의해 전기 신호로 변환됩니다.
이 신호는 증폭 및 보정 회로를 통과하여 0~5 V 사이의 선형 전압으로 출력됩니다. 동시에 비교 제어 회로로도 전송됩니다.
비교제어 회로는 센서로부터 유량 설정 신호와 급 유량 설정 신호를 비교하여 밸브 구동 회로에 차이 신호를 보냅니다.
유량제어 밸브 이동기는 권장 유량 설정점과 유량 출력 신호간의 차이를 0에 가깝게 만들기 위해서 적절합니다. 즉 유닛은 항상 설정된 유량이 되도록 유량을 제어합니다.
MFC 는 O-ring seal 이기에 가스별로 sealing하는 O-ring 재질이 정해져있습니다. 만일 사용하려는 Gas가 가지고 계신 MFC 와 같은 seal 일경우 Conversion factor값을 적용하여 계산하여 사용하시면 됩니다.
https://wahf10.tistory.com/59?category=966201
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이게 무슨차이야? 질량 유량계 – MFC와 MFM의 차이
기체의 유량을 측정할 때 많이 사용되고 있는 질량 유량 측정기.
MFM 또는 MFC 등으로도 불립니다.
두가지로 불리는 질량유량기 이번 시간에는 질량 유량계의 이름에 대해 알아보도록 하겠습니다.
질량 유량 측정기 – Mass Flow Meter (MFM)
파이프 사이에 장치를 연결한 후 장치 내의 센서가 들어있는 관을 지나는 기체의 질량을 측정해
총 유량을 측정하는 방식의 계측기입니다.
부피가 아니라 질량을 측정하기 때문에 온도나 압력으로 인한 기체의 부피 변화와
상관없이 유량 측정이 가능하다는 장점이 있습니다.
그 중에서도 열식 질량 유량계는 기체의 유량에 따른 열손실 크기의 원리를 이용해 질량을 측정합니다.
열식 질량 유량계의 유량 측정 원리
출처 : wikipedia
https://en.wikipedia.org/wiki/Thermal_mass_flow_meter
그래서 기능 그대로 질량 유량 측정기, 질량 유량계, 열식 질량 유량계 등으로 불리며,
영어로는 Mass Flow Meter, Thermal Mass Flow Meter, 줄여서 MFM 이라고 부르기도 합니다.
질량 유량 측정기의 기본적인 기능은 유량을 측정하는 장비 입니다.
옵션으로 별도의 리드아웃이 필요 없는 터치스크린 패널이 달린 제품이나,
배터리 충전 방식으로 전원 연결이 필요 없는 제품 등도 나오지만,
기본적으로는 이름과 같이(측정기 – Meter) 기체의 유량의 측정만 할 뿐
유량 제어는 가능하지 않습니다.
Teledyne Hastings 사의 Digital Mass Flow Meter
질량 유량 제어기 – Mass Flow Controller(MFC)
질량 유량 제어기는 위에서 설명한 질량 유량 측정기에 제어 기능을 추가해,
유량을 원하는 만큼 컨트롤 할 수 있는 제품입니다.
열식 질량 유량 제어기의 유량 제어 원리
출처 : wikipedia
https://en.wikipedia.org/wiki/Mass_flow_controller
그래서 이름도 질량 유량 제어기, 열식 질량 유량 제어기 등으로 불리며,
영어로는 Mass Flow Controller, Thermal Mass Flow Controller,
줄여서 MFC 라고 부르기도 합니다.
질량 유량 제어기는 사용 가능한 압력 상태에서 질량 유량을 제어할 수 있는 기능을 가지고는 있습니다. 설정압력 이상 또는 이하 조건에서는 유량제어에 어려움을 겪을 수 있습니다.
MFC는 유량 제어용이기 때문에, 항시 유량의 기밀을 요하는 경우에는 MFC 전후단에 별도의 Shut off 벨브 설치를 권장합니다.
Teledyne Hastings 사의 Digital Mass Flow Controller
측정기 옆에 달린 것이 제어기(Controller)입니다.
인포라드는 Teledyne Hastings 사의
높은 정확도와 다양한 유량의 열식 질량 유량계 및 유량 제어기를 제공하고 있습니다.
제품에 대한 문의는 아래의 링크를 이용하시기 바랍니다.
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질량 유량 측정제어기(MFC) 올바르게 사용하는 방법
그림1과 같이 TS-MFC는 대부분의 가스 흐름은 바이패스(Bypass)를 통과하지만 가스의 일부분은 센서의 작은 모세관, 감지 튜브(Mass Flow Sensor Tube)를 통과하게 됩니다.
감지 튜브를 흐르는 가스는 그림2와 같이 히터(Heater)를 지나며 온도가 상승하게 되고 가스의 온도변화를 온도센서를 이용해 측정, 질량유량을 측정합니다. MFC설치나 사용 중 발생한 이물질이 이 튜브로 들어가게 되면 질량 유량의 정확성이 떨어질 수 있습니다.
가스는 제어 밸브 부분에서 오리피스(Valve Orifice)를 통과하게 되는데, 오리피스는 가스의 분자량이나 몰(Mol) 질량에 따라 유속 및 압력 조건을 고려 크기가 결정됩니다.
(예시 : 질소(N 2 )가스, 최대 유량 5 sccm, 가스 입력 압력 30 psi => 오리피스 직경 약0.01 mm)
열식 질량 유량센서의 감지 튜브가 이물질에 의해 유량의 정확도에 영향을 받는 것처럼, 오리피스도 MFC의 설치나 사용 중에 생기는 이물질에 의해 유량의 정확도나 밸브의 오동작을 야기시킬 수 있습니다.
3. 오염의 원인(Reason of Pollutions)
MFC를 설치하면서 오염이 발생하게 되는 원인에는 무엇이 있을까요?
문제를 가장 빈번하게 일으키는 이유는 먼지(Dust)나 미립자(Particle)입니다. MFC는 먼지가 없는 환경에 설치 해야 하며, MFC를 설치하기 전에 해당 영역을 비우고 닦아내고 설치해야 합니다.
파이프 나사 피팅이 있는 MFC의 경우, 리크 방지 테이프가 가스 통로에 들어가지 않도록 주의해야 하며, 가급적 Metal 형태의 Gasket 사용을 권장 합니다.
밸브 오리피스가 매우 작은(0.1 mm 미만) MFC 설치 시, 미립자도 문제가 될 수 으므로 반드시 청결의 유지하며, 장갑(라텍스 및 고무 장갑) 착용 시 가루가 묻어 있는 지 확인하며, N 2 가스를 이용하여 충분의 퍼지 하고 사용해야 합니다.
주변 환경의 습기 및 불순물을 포함한 모든 오염 물질은 열식 질량 유량센서의 정확도에 영향을 줄 수 있습니다. 설치 중 사용되는 그리스 또는 윤활제는 사용 되는 가스와 화학적 반응을 일으킬 수 있기 때문에 신중하게 고려하고, 가급적 MFC 설치 환경에서는 화학 물질 사용을 지양해주시고 부득이하게 사용한 경우 주기적인 모니터링을 실시해야 합니다.
그리스 또는 윤활제에 의해 열식 질량 유량센서의 모세관 내부에 오염이나 코팅 현상이 발생하면 MFC의 열 흐름을 왜곡시키고 결과적으로 유량 정확도에 영향을 줍니다.
MFC 문제 중 유량 오차나 오동작이 지속적으로 반복되는 경우의 가장 큰 원인은 이미 오염이 진행되어 있는 라인에 새로운 MFC를 설치하는 경우 입니다.
다음은 상기 문제에 대하여 대비책 및 예방 지침입니다.
3.1 예방
가장 먼저 해야 할 일은 결함이 있는 MFC를 제거할 때 불활성 가스를 이용해 제품 및 라인에 있는 불순물들을 제거하는 것입니다.
대부분의 시스템은 질소(N 2 ) 또는 아르곤(Ar)을 이용해 사용했던 가스의 흔적과 오염 물질을 라인에서 제거할 수 있습니다. 이후 장치를 제거하고 제품의 가스 입구와 출구 등, 모든 연결부를 확인하고 나면 오염 물질에 대한 추가 검토가 필요한 부분이 어딘지 알 수 있을 것입니다.
3.2 제거
MFC와 가스 라인을 연결하는 피팅 부위를 주의해야 합니다. 피팅은 MFC와 가스 라인를 연결할 때 사용하는 일종의 연결부로 정해진 규칙과 방법으로 가스 라인의 오염이나 불순물 상태를 확인하고 제거해야 합니다.
3.3 청결한 설치
MFC는 클린 백에 봉인 된 상태로 출고됩니다. 최대한 설치 직전에 클린 백에서 제품을 꺼내도록 하고, 오염물질이 불순물이 없는 것으로 확인된 시스템이나 가스 라인에 MFC를 설치합니다.
(가스, 유량, 통신, 피팅, 주사용 압력 등 MFC의 제조사 사양을 참고하고 선정 및 설치)
4. 여과(Filteration)
일부 사용 환경에서는 미량의 오일 및 다른 오염물질과 불순물 등이 가스 흐름에 섞일 수 있습니다. 앞서 살펴본 바와 같이 열식 질량 유량센서 및 밸브의 구성 요소에 불순물이 있을 경우, 시간이 지남에 따라 지속적으로 축적되어 MFC에 영향을 줄 수 있습니다.
이 상황을 해결할 수 있는 한가지 방법으로는 오염 물질이나 불순물이MFC의 내부 구성요소에 닿지 않도록 그림3과 같은 인라인 필터(Inline Filter)를 설치하는 것입니다.
저희 제품은
가스를 사용하는 모든 사업분야에서
사용되고 있습니다.
기체의 유량을 계산하여 제어하는 장비인 MFC와
기체의 유량을 계측하여 값을 측정할 수 있는 장비인 MFM이 주력 제품입니다.
또한 엠케이프리시젼의 기술력을 인정받은 연구소에서는
제품의 품질 향상과 신제품 개발 및 연구를 위해 노력하고 있습니다.
erkewkriewroiewr
MFC 의 기본원리는 기체가 Mass Flow Controller(이하 MFC) 로 들어가면 먼저 전동 밸브와 만나게 됩니다. 이 밸브는 높은 전압을 가하면 많이 열리고 낮은 전압을 가하면 조금 열리는 밸브입니다. 밸브를 지난 기체는 갑자기 통로가 좁아지면서 두 갈래로 갈라집니다. 큰 통로는 기체가 주로 흘러 나가는 갈래이고 좁은 통로는 MFC 에서 유량을 측정하는 센서로 들어가는 갈래입니다. 유량이 일정량 이상이 되면(보통 MFC 는 10% 미만에서는 잘 안 맞죠.) 좁은 통로로 흐르는 기체의 유량은 전체 기체의 유량에 비례해서 증가합니다. 그리고 유량을 측정하는 센서에는 작은 금속 코일이 설치되어 있고 여기에는 일정한 양의 전류가 흐릅니다.
그런데 금속은 온도가 높으면 저항이 높아지고 온도가 낮아지면 저항이 낮아지는 성질을 가지고 있습니다. 그리고 MFC 에 설치된 금속 코일의 온도는 그 주위를 흘러가는 기체의 양과 비열에 의해서 결정됩니다. 즉, 기체가 많이 흘러가면 온도가 낮아지고 기체가 조금 흘러가면 온도가 높아집니다. 또, 흘러가는 기체의 비열이 크면 온도가 낮아지고 비열이 작으면 온도가 높아집니다.
MFC 의 다이얼은 기체의 종류에 따라 달리 보정되는데 이것은 바로 기체마다 비열이 틀리기 때문입니다. MFC 센서는 코일의 전기저항을 측정하여 기체 유량을 측정하고 그 결과를 피드백하여 셋팅값과 비교하여 전동밸브를 조작함으로써 일정한 유량이 흘러가도록 하는 것입니다.
출처 : Mebius
글쓴이 : 역린 원글보기 : 역린
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